Selbst-referenzierende Präzisionsinterferometer unseres Partners nortus-Systronic GmbH

Interferometrie ist die erste Wahl einer optischen Messmethode, wenn es darum geht Oberflächen mit hoher Präzision zu vermessen.

Zusammen mit unserem Partner nortus-Systronic GmbH bieten wir ein System, das einen innovativen Meilenstein im Bereich interferometrischer Messtechnik darstellt.

Das kompakte, benutzerfreundliche System setzt mit seiner Genauigkeit neue Maßstäbe im Bereich der Interferometrie.

Dafür bieten wir sogenannte PSPDI Systeme (PSPDI = Phase Shifting Common Path Point Diffraction Interferometer), die im Vergleich zu üblichen Fizeau-Interferometern keine optische Referenz benötigen. Die Systeme sind selbstreferenzierend - eine gebeugte Wellenfront (erzeugt durch eine Sub-Wellenlänge Apertur in einem dünnen Metallfilm).

Entsprechend bieten diese Systeme erhebliche Vorteile, wenn höchste Präzision gefordert ist. So finden sie z.B. Verwendung beim Test und der Vermessung hochpräziser Optiken mit komplexen Formen und großen asphärischen Abweichungen.
Das System wird komplett mit der dazugehörigen Software geliefert, die aufgrund der vielfältigen Funktionen eine perfekte Analyse der Messergebnisse bietet.

Precision Interferometer systems from our partner nortus-Systronic GmbH

Interferometric systems are the first choice, whenever surfaces need to be measured with highest possible precision.

Together with our partner company nortus-Systronic GmbH we offer a phase-shifting point diffraction common path interferometer for ultra high accuracy measurements of surface form and transmitted wavefront quality.

These system allow to determine absolute figures of a surface or wavefront: the measured form is counted from the absolute reference i.e. perfect spherical wavefront produced by diffraction of light by a sub-wavelength aperture.

The approach allows for unpredecendented precision:

  • Peak-to-valley absolute accuracy: ± 0.6 nm
  • Peak-to-valley resolution: 0.05 nm
  • Wavefront RMS repeatability: < 0.23 nm