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Interferometrie sind erste Wahl für optische Messtechnik, wenn es darum geht Oberflächen mit hoher Präzision zu vermessen.

Zusammen mit unserem Partner nortus-Systronic GmbH bieten wir ein System, das einen innovativen Meilenstein im Bereich interferometrischer Messtechnik darstellt.

Das kompakte, benutzerfreundliche System setzt mit seiner Genauigkeit neue Maßstäbe im Bereich der Interferometrie.

Dafür bieten wir mit nortus sogenannte PSPDI Systeme (PSPDI = Phase Shifting Common Path Point Diffraction Interferometer), die im Vergleich zu üblichen Fizeau-Interferometern keine optische Referenz benötigen. Die Systeme sind selbstreferenzierend - eine gebeugte Wellenfront (erzeugt durch eine Sub-Wellenlänge Apertur in einem dünnen Metallfilm).

Entsprechend bieten diese Systeme erhebliche Vorteile, wenn höchste Präzision gefordert ist. So finden sie z.B. Verwendung beim Test und der Vermessung hochpräziser Optiken mit komplexen Formen und großen asphärischen Abweichungen.
Das System wird komplett mit der dazugehörigen Software geliefert, die aufgrund der vielfältigen Funktionen eine perfekte Analyse der Messergebnisse bietet.

Das patentierte Verfahren liefert Ergebnisse mit aussergewöhnlicher Präzision:

  • Peak-to-valley Absolute Genauigkeit: ± 0.6 nm
  • Peak-to-valley Auflösung: 0.05 nm
  • Wellenfront RMS Wiederholgenauigkeit: < 0.23 nm